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全面的滑阀式真空泵知识分享
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- 来源：
- 发布时间：2021-10-27
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【概要描述】 滑阀式真空泵由于其结构特性，容量比旋转式真空泵大得多，因此更适用于大型真空设备。基本类型也分为单级和二级。其中单端泵的小泵极限压力一般在0.6Pa以下，大泵在1.3Pa以下(平均管气振)。双级泵的极限压力不超过0.06Pa(管气振)。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。
全面的滑阀式真空泵知识分享
【概要描述】 滑阀式真空泵由于其结构特性，容量比旋转式真空泵大得多，因此更适用于大型真空设备。基本类型也分为单级和二级。其中单端泵的小泵极限压力一般在0.6Pa以下，大泵在1.3Pa以下(平均管气振)。双级泵的极限压力不超过0.06Pa(管气振)。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。
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滑阀式真空泵与旋转泵一样，它是可变体积气体传输泵，其适用范围和使用条件也与旋转泵大致相同。
滑阀式真空泵由于其结构特性，容量比旋转式真空泵大得多，因此更适用于大型真空设备。基本类型也分为单级和二级。其中单端泵的小泵极限压力一般在0.6Pa以下，大泵在1.3Pa以下(平均管气振)。双级泵的极限压力不超过0.06Pa(管气振)。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。
滑阀式真空泵的旋转质量比较偏心，质量平衡不好，操作时会发生大幅度震动。另外，旋转中心运动轨迹是复杂的闭合曲线，因此很难实现滑阀泵惯性力的完全平衡。这限制了滑阀真空泵的转数，通常由350 ~ 600R/MIN控制，可以单独达到1000r/min以上。
1、滑阀式真空泵的工作原理
主要结构包括泵、偏心轮、滑阀部件、导轨等，与泵腔同心的驱动轴驱动偏心轮旋转，偏心轮驱动滑阀环运动，使滑阀在导轨上、下、左、右摆动。滑阀将泵腔分为a和b两部分。当驱动轴朝左方向旋转时，A腔体积增加，压力降低，气体通过入口、滑阀(A腔侧开口)进入A腔，处于吸入过程中。滑阀继续顺时针返回左上，当A钢体积达到较大值时，吸入口与A钢隔离，吸入过程结束，同时B钢体积不断减少，处于压缩气体的过程中。当B室气体压力达到排气压力时，推动油封的排气阀开始排放。滑阀正上方时，排气结束(A腔容量也较大)，新一轮的循环过程开始。
2、滑阀式真空泵的应用要点
滑阀式真空泵可以单独使用，也可以作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等真空泵的前泵，比旋转板泵更耐用，多用于真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟实验等领域。
3、滑阀式真空泵噪声源及解决办法
机械冲击噪声是滑阀式真空泵噪声的主要成分。正常工作时，滑动阀与泵体内壁(吸入面大小缸相交的地方)发生机械碰撞，产生强烈的机械冲击噪音。影响机械冲击噪声的因素：泵与滑阀环、偏心轮与滑阀环、泵枢轴与泵体大缸中心的偏移等。一般来说，在设计中调整冲击部位的间距，以减少或消除冲击，从而降滑阀式真空泵的机械冲击噪声。
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